原来的循环冷却水使用氯消毒，自从70年代末美国环保署发现使用氯消毒会产生多种致癌的氯化有机物，因而限制循环水使用氯消毒，这直接促进了臭氧在美国循环水处理中的的应用。臭氧作为水处理剂，具有操作简单，杀菌能力强，排污量少，既能节水节能，又不用调节水的pH值，不存在二次污染等优点，对循环水的缓蚀、阻垢、杀生等方面均有良好的效果。使用臭氧处理冷却塔循环水以下三方面的优点：
（1）臭氧阻垢：循环冷却水系统中溶于水中的盐类物质由于不断蒸发浓缩而结晶析出形成水垢。一般认为，臭氧不具备分解水垢的能力，但研究表明，臭氧具有阻止水垢生成的能力，使用臭氧水中的总溶解固体可达到1700mg/l，硬度可达到724mg/l（以CaCO3计）而不结垢，这是常用阻垢剂所不能比拟的。其原因可能是微量硝酸的生成及臭氧具有使碳酸盐向重碳酸盐方向移动的能力。
（2）臭氧防腐蚀：通常认为臭氧是一种强氧化剂，因而具有腐蚀性，但研究及应用表明，臭氧具有防腐蚀性，主要原因是由于臭氧分解后产生的活泼的原子氧与亚铁离子反应后，在阳极表面上形成一层含γ－Fe203的钝化膜，对金属具有良好的保护作用。NASA的研究表明，循环冷却系统使用臭氧后钢铁的腐蚀速度为标准要求的1/2～1/3。
（3）臭氧杀菌：臭氧是强氧化型杀生剂，高效无污染杀生，在0.1ppm的浓度下，即可有效杀灭病毒及细菌，并能有效地控制循环水中微生物的生长，减轻生物污垢及其引起的垢下腐蚀。同时，能氧化垢层基质中的有机物成分，使垢层失去粘结剂变松脱落，从而起到除垢的作用。
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